HJT电池工艺路线
异质结HJT(Hetero-junction with Intrinsic Thin-layer)电池, 是以N型单晶硅(C-Si)为衬底光吸收区,经过制绒清洗后,其正面依次沉积厚度为5-10nm的本征非晶硅薄膜(i-a-Si: H)和掺杂的P型非晶硅(P-a-Si:H);
硅片的背面又通过沉积厚度为5-10nm的i-a-Si:H和掺杂的N型非晶硅(n-a-Si:H)形成背表面场,双面沉积的透明导电氧化物薄膜(TCO),最后通过丝网印刷在两侧的顶层形成金属基电极,即为异质结电池的典型结构。